Вернуться в оглавление
Назад Вперед стр.1 из 3
КАТАЛОГ  >  ЭЛЕКТРОНИКА И ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
НАГРЕВАТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ



Нагревательные элементы, используемые для производства монокристаллических полупроводниковых материалов методом Чохральского, изготавливаются из высокоплотных графитов и углерод-углеродных композиционных материалов со стабильными электрофизическими параметрами. При необходимости применяются материалы высокой степени чистоты.




Типы нагревателей
Тип Преимущества
Графитовый цельный с прямыми или косыми пазами
- долговечность;
- однородность температурного поля;
- простота монтажа;
- оптимальное сопротивление
Композиционный сборный ламельного типа
- долговечность;
- стойкость к парам и брызгам полупроводникового материала;
- стойкость к ударным нагрузкам в процессе монтажа и эксплуатации;
- ремонтопригодность

Нагревательные элементы под кварцевые тигли: 13", 14", 16", 18", 20"



Применяемые материалы
Марки графита и углеродных материалов с утверждённой нормативной технической документацией.
  • Графитерм ТС: ТУ1916-010-11250473-2011 "Заготовки из углерод-углеродного материала марки Графитерм ТС"
  • DE24: ТУ1916-010-11250473-2010 "Графит марки DE24 в заготовках и деталях"
  • АРВ: ТУ48-20-10-83 "Заготовки графитовые для анодов и сеток ртутных выпрямителей и деталей электровакуумных приборов"
Марки графита с нормативной технической документацией в стадии разработки. Физико-механические характеристики приведены в таблице.
Наименование показателя HLM диаметр
до 350 мм
HLM диаметр
более 350 мм
SN21 DE21 IG-12
Плотность, г/см3
1.74 1.70 1.74 1.74 1.78
УЭС, мкОм*м, /
6.7 / 9.2 7.3 / 9.4 7 / 12 11 12,5
Коэф.термического расширения (20/200оС), мкм/(К*м), /
2.1 / 3.7 2.1 / 3.1 1,6 / 3.4 4,7
Коэф.теплопроводности, Вт/(К*м), /
200 / 150 180 / 140 200 / 150 100
Прочность, Н/мм2, /
- на сжатие
- на изгиб
- на растяжение

55 / 40
26 / 19
18 / 13

39 / 35
18 / 17
13 / 12

38 / 38
- -
- -

85
40
-

88
39
28
Тип прессования
экструзионный экструзионный экструзионный изостатический изостатический


Назад...

ЗАО "Графи"