Вернуться в оглавление
Назад Вперед стр.2 из 3
КАТАЛОГ  >  ЭЛЕКТРОНИКА И ПРОИЗВОДСТВО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
ТИГЕЛЬНЫЕ УЗЛЫ



Конструкция тигельных узлов при производстве монокристаллов методом Чохральского должна обеспечивать:
- безопасность и стабильность параметров процесса;
- необходимый уровень качества и низкую себестоимость конечной продукции.




Типы тиглей
Тип Преимущества
Цельный, цельный со вставкой
(графит - DE21-DE24)
- надежность и долговечность;
- минимальные эксплуатационные риски;
- высокое качество конечной продукции.
Сборный с углеродной сеткой или обечайкой
(графит SN21, HLM, HLMP200)
- взаимозаменяемость;
- доступность;
- низкая цена.

Размеры кварцевого тигля: 13", 14", 16", 18", 20"



Марка графита и характеристики
Наименование показателя
DE24
SN21
Плотность, г/см3
1.83 1.74
Максимальный размер зерна, мм
0.01 0.8
УЭС, мкОм*м, /
13 7.3/9.4
Коэф.термического расширения (20/200оС), мкм/(К*м), /
4.0 1.6/3.4
Коэф.теплопроводности (300К), Вт/(К*м)/
100 200/150
Твердость, HRB (5 / 100)
95 70
Прочность, Н/мм2
- на сжатие
- на изгиб
- на растяжение

125
60
60

-
-
15/10


Назад...

ЗАО "Графи"